掌握要點(diǎn)合理使用離子減薄儀

　　離子減薄儀適用性廣泛，對金屬、非金屬、半導(dǎo)體、礦物、骨骼和牙齒等幾乎所有固體材料都可以用離子減薄技術(shù)來制備透射薄膜樣品。 離子減薄儀中的稀薄氣體氬氣，在高壓電場作用真空環(huán)境下，氬離子穿過盤狀陰極中心孔時，受到加速與聚焦后產(chǎn)生高能粒子束轟擊樣品表面，高能離子與樣品表面發(fā)生彈性碰撞，樣品表面原子能量增大高于該原子的逸出功時，便飛離樣品，這樣就使樣品表面不斷失去原子，達(dá)到減薄的效果。
 

　　離子減薄儀的規(guī)范操作：
 

　　一.開機(jī)程序
 

　　1.裝換樣品：樣品室放氣，取下頂蓋，將預(yù)減薄的樣品裝入樣品架后，封頂蓋，關(guān)嚴(yán)放氣閥。
 

　　2.啟動機(jī)械泵，慢旋開V4閥，開真空計電源。
 

　　3.預(yù)抽真空達(dá)到100Pa時，打開V5閥，并開V1閥，關(guān)閉V4閥。
 

　　4.通冷卻循環(huán)水，開分子泵，略遲開啟動開關(guān)。
 

　　5.樣品室真空抽至2×10-3Pa時，調(diào)樣品轉(zhuǎn)動刻度盤至適當(dāng)位置，啟動樣品轉(zhuǎn)動開關(guān)。
 

　　6.啟動高壓轟擊開關(guān)，將高壓調(diào)至4~5KV。
 

　　7.緩慢旋開氬氣微調(diào)閥，使之達(dá)到正常工作狀態(tài)，即高壓4~5kv，回路電流≤0.8mA，開始減薄。
 

　　二.關(guān)機(jī)程序
 

　　1.關(guān)氬氣，退下高壓，關(guān)高壓轟擊開關(guān)。關(guān)樣品轉(zhuǎn)動。
 

　　2.關(guān)閉分子泵停止開關(guān)，關(guān)閉真空計電源。
 

　　3.關(guān)閉V2閥，關(guān)V5閥，關(guān)V1閥。
 

　　4.停機(jī)械泵，關(guān)電源開關(guān)，關(guān)閉冷卻水。