想要高效運行離子減薄儀，不懂這些可不行

點擊次數(shù)：656 更新時間：2021-11-03

　　離子減薄儀有著較快的制樣速度?？梢砸暂^小的耗費將高質(zhì)量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進(jìn)行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導(dǎo)體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡( TEM)樣品的制備為該儀器的主要用途。

　　離子減薄儀的使用注意事項：

　　一、日常關(guān)機

　　平常結(jié)束使用之后沒有必要關(guān)機

　　二、停電關(guān)機

　　1、對氬氣鋼瓶關(guān)緊與否進(jìn)行確認(rèn)。

　　2、將總電源關(guān)掉。

　　三、復(fù)電開機

　　1、將氬氣鋼瓶打開

　　2、將總電源打開

　　3、對離子槍進(jìn)行吹掃，從而將離子槍表面水氣去除，防止由于空氣污染導(dǎo)致離子槍不穩(wěn)定，當(dāng)室內(nèi)壓力比5-3e帕要低時，將兩個氣閥開關(guān)打開，凈化15分鐘，當(dāng)離子槍束流值在在5KeV，比8μA低時能夠停止。

　　4、必須要等到真空度達(dá)到5-4e帕才能夠進(jìn)行正常的工作。

　　5、當(dāng)將離子槍拆下又重新裝回需要對離子槍束流和離子束位置進(jìn)行調(diào)整

　　離子減薄儀的技術(shù)指標(biāo)：

　　1、樣品臺傾斜范圍：-120到210度，精度為0.1度

　　2、SEM平面研磨臺：zui大φ25毫米×12毫米，TEM和FIB樣品臺：φ3毫米。

　　3、能夠設(shè)定終止加工透光量閾值來使遠(yuǎn)程控制得以實現(xiàn)。

　　4、冷凍系統(tǒng)使制樣過程溫度不超過25攝氏度得到保證。

　　5、獨立雙氬離子源，能夠傾斜±45度。

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